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半導(dǎo)體設(shè)備陶瓷零配件
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產(chǎn)品名稱

半導(dǎo)體設(shè)備陶瓷零配件

加工精度 0.01mm
是否定制 可按圖紙定制
粗糙度 0.1μm
材料成分 Al2O3
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先進陶瓷在半導(dǎo)體設(shè)備零部件中的價值占比約為16%,屬于核心關(guān)鍵零部件。這些零部件技術(shù)壁壘和加工難度極高,主要應(yīng)用在刻蝕、薄膜沉積、光刻和氧化擴散等設(shè)備中。由于陶瓷具有高硬度、高彈性模量、高耐磨、高絕緣、耐腐蝕、低膨脹等優(yōu)點,因此在半導(dǎo)體設(shè)備中發(fā)揮著重要作用。

                                                      

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