受到各個方面的影響，國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展非常迅速，隨著半導(dǎo)體設(shè)備自動化程度的提高以及晶片多樣化程度的加大，對半導(dǎo)體設(shè)備傳輸晶片所用的機械手的要求也愈來愈高。半導(dǎo)體陶瓷機械手臂就是用來傳輸晶片的。陶瓷機械手臂的精度要求比較高，本身又屬于是硬脆材料，受到加工能